К вопросу об актуальности разработки современной отечественной нормативной базы в области подготовки технологических сред для производства СБИС (Часть 2)

Разработка требований к параметрам технологических газов (азот, кислород, водород)

      Уровень технологии и чистоты газов неразрывно связаны, так как газы принимают непосредственное участие в технологических процессах производства интегральных схем. Присутствие в газах даже незначительных количеств загрязнений приводит к отказам интегральных схем и снижению процента выхода годных.

      В таблице 6 приведены рекомендации Международного стандарта SEMATECH Technology Transfer 92051107A-STD для технологических газов, используемых в производстве ИС с топологическими размерами 0,35 мкм [8].

      Технические требования, устанавливаемые стандартами SEMI, как правило, не «привязаны» к топологическим размерам ИС. Они лишь устанавливают качественное и количественное содержание примесей в газе определенной степени чистоты (градации) и рекомендуют наиболее подходящие для данного прим...