Современные технологии очистки сточных вод производства СБИС
Агаркова И.Н., Буцын Г.Г., Лебедева Н.В.
Чистые помещения | 3-4/2009 (31-32) июль-декабрь
Сокращение поступления отходов производства сверхбольших интегральных микросхем (СБИС) в окружающую среду является важнейшей задачей. В целях предупреждения загрязнения окружающей среды через систему канализации необходима очистка сточных вод до установленных норм.
Традиционные схемы очистки по многим показателям не обеспечивают выполнения современных требований к очищенной воде. Поэтому необходимо внедрение новых технологических схем очистки.
В НИИИС в рамках создания производства СБИС с проектными нормами 0,35 мкм совместно с НПФ «Нижний» разработана технологическая схема очистки сточных вод кристального производства.
Источники образования сточных вод
Производство СБИС потребляет большое количество деионизованной в...
Если вы уже подписчик, войдите или зарегистрируйтесь
