www.cleanrooms.ru/Архив/2009/3-4/2009 (31-32) июль-декабрь

Современные технологии очистки сточных вод производства СБИС

Агаркова И.Н., Буцын Г.Г., Лебедева Н.В.

Чистые помещения | 3-4/2009 (31-32) июль-декабрь

      Сокращение поступления отходов производства сверхбольших интегральных микросхем (СБИС) в окружающую среду является важнейшей задачей. В целях предупреждения загрязнения окружающей среды через систему канализации необходима очистка сточных вод до установленных норм.

      Традиционные схемы очистки по многим показателям не обеспечивают выполнения современных требований к очищенной воде. Поэтому необходимо внедрение новых технологических схем очистки.

      В НИИИС в рамках создания производства СБИС с проектными нормами 0,35 мкм совместно с НПФ «Нижний» разработана технологическая схема очистки сточных вод кристального производства.

Источники образования сточных вод

      Производство СБИС потребляет большое количество деионизованной в...

Доступ только пользователям с подпиской. Чтобы прочитать статью целиком, оформите подписку.
Если вы уже подписчик, войдите или зарегистрируйтесь
< вернуться назад